扫描电镜按构造和用处可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。
扫描电镜常用于察看那些用普通显微镜所不能分辨的纤细物质构造，次要用于察看固体外表的形貌，也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分剖析;发射式电子显微镜用于自发射电子外表的研讨。因电子束穿透样品后，再用扫描电镜成像缩小而得名，它的光路与光学显微镜相仿，可以直接取得一个样本的投影。
经过改动物镜的透镜零碎人们可以直接缩小物镜的焦点的像，由此人们可以取得电子衍射像，运用这个像可以剖析样本的晶体结构，在这种扫描电镜中，图像细节的对比度是由样品的原子对电子束的散射构成的，由于电子需求穿过样本，因而样本必需薄。样本的厚度可以从数纳米到数微米不等。
原子量越高、电压越低，样本就必需越薄。样品较薄或密度较低的局部，电子束散射较少，这样就有较多的电子经过物镜光阑，参与成像，在图像中显得较亮。反之，样品中较厚或较密的局部，在图像中则显得较暗。假如样品太厚或过密，则像的对比度就会好转，甚至会因吸收电子束的能量而被损伤或毁坏。扫描电镜的操作步骤及日常维护、保养注意事项如下：
1、去掉防尘罩，翻开电源
2、将试样置于载物台垫片，调整粗/微调旋钮停止调焦，直到察看到的图像明晰为止
3、调整载物台地位，找到要察看的视场，停止镜像剖析
4、扫描电镜调焦时留意不要使物镜碰到试样，以免划伤物镜
5、当载物台垫片圆孔中心的地位远离物镜中心地位时不要切换物镜，以免划伤物镜
6、亮度调整切忌忽大忽小，也不要过亮，影响灯泡的使用寿命，同时也有损视力
7、所有(功能)切换，举措要轻，要到位
8、关机时要将亮度调到小
9、非专业人员不要调整金相显微镜照明零碎(灯丝地位等)，以免影响成像质量
10、改换卤素灯时要留意低温，以免灼伤;留意不要用手直接接触卤素灯的玻璃体